摘要：根據(jù)壓力傳感器的實(shí)際測試過程中的各個(gè)環(huán)節(jié)已經(jīng)或可能產(chǎn)生的影響，獲取壓力傳感器真實(shí)性能輸出數(shù)據(jù)的因素，采用可靠性的分析方法對其進(jìn)行分析；提示了測試過程中影響傳感器輸出的規(guī)律，減小傳感器因在測試過程中產(chǎn)生的誤差；并為深入研究壓力傳感器提供一條新的思路，為研究新的壓力傳感器提供一定的理論依據(jù)。
1 引言
可靠性是指產(chǎn)品在規(guī)定條件下和規(guī)定時(shí)間內(nèi)，完成規(guī)定功能的能力。可靠性是對一種產(chǎn)品投入使用時(shí)無故障工作能力的度量。產(chǎn)品可靠性的高低是表示產(chǎn)品在規(guī)定條件下、規(guī)定時(shí)間內(nèi)，完成規(guī)定功能可能性的大小。可靠性通常采用可靠度、失效率及MTBF來表示，傳感器等元器件可靠性水平的高低通常用失效率來表示，而設(shè)備可靠性多用可靠度、MTBF、有效度等指標(biāo)來表示。
壓力是生產(chǎn)過程和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中進(jìn)行測量和控制的最基本參數(shù)之一，而對壓力進(jìn)行測量的并能把壓力通過一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成電信號的壓力傳感器就成為測量這一信號的重要元器件，它被廣泛地應(yīng)用在工業(yè)、石油、化工、生物醫(yī)學(xué)、航海、航天、航空等領(lǐng)域的生產(chǎn)和科研當(dāng)中。傳感器的可靠性是十分重要的，它直接關(guān)系著使用該傳感器的系統(tǒng)的性能，影響著生產(chǎn)和建設(shè)的質(zhì)量和進(jìn)展速度，甚至?xí)䦷韲?yán)重的人身安全問題。在傳感器的使用過程中，其可靠性概念可以作為無故障性，即作為保證按技術(shù)條件所要求的極限的使用指標(biāo)的性能總合性。當(dāng)變換具體物理量的傳感器失效時(shí)，就可明白破壞其元件機(jī)械完整性以及輸出測量參數(shù)偏差而導(dǎo)致整個(gè)安裝此傳感器的產(chǎn)品不能完成任務(wù)的組成事件。而在傳感器的生產(chǎn)過程中，為了保證壓力傳感器對壓力信號的測量、傳遞的精確性、穩(wěn)定性及一致性，就必須對壓力傳感器的測試過程的可靠性進(jìn)行分析。
2 壓力傳感器測試原理
壓力傳感器包括利用壓阻效應(yīng)制造出來的壓阻式壓力傳感器，利用壓電效應(yīng)制造出來的壓電式壓力傳感器、利用應(yīng)變效應(yīng)制造的應(yīng)變式壓力傳感器等，本文僅以壓阻式壓力傳感器為例，說明其測試原理。
壓阻式壓力傳感器芯體如圖1，R1，R2，R3，R4是4片電阻片，當(dāng)受外力作用時(shí)，電阻片R1，R3亦受拉伸作用電阻增大，R2，R4電阻減小，這樣外力F的作用使4個(gè)電阻片電阻值發(fā)生變化。傳感器上的電阻R1，R2，B3，R4接成圖2所示的直流橋路。cd兩端接穩(wěn)壓電源E，ab兩端為電橋電壓輸出端，輸出電壓為U0，如圖2。
式（2）就是電橋平衡條件。在傳感器上貼的電阻片是相同的4片電阻片，在理想狀態(tài)下，設(shè)其電阻值相同，即有
R1=R2=R3=R4=R （3）
所以傳感器不受外力作用時(shí)，電橋滿足平衡條件，a，b兩端輸出的電壓U0=0。當(dāng)梁受到載荷F的作用，如圖3所示，電橋不平衡，則有
從式（6）可知電橋輸出的不平衡電壓U0是和電阻的變化△R成正比的，這就是不平衡電橋的工作原理。顯然測量出的U0的大小可反映外力F的大小。此外由式（6）還可知，若要獲得較大的輸出電壓U0，可以采用較高的電源電壓E，同時(shí)亦說明電源電壓不穩(wěn)定將給測量結(jié)果帶來誤差。在實(shí)際的生產(chǎn)測試過程中，橋臂的4個(gè)電阻是不可能完全相同的，測試時(shí)所加的環(huán)境條件同樣也會(huì)對傳感器的輸出產(chǎn)生影響。這樣，在環(huán)境條件發(fā)生變化時(shí)，它們的增量△R也是不完全相同的，最終導(dǎo)致測試的結(jié)果和理想的結(jié)果產(chǎn)生偏差。
3 壓力傳感器測試過程
壓力傳感器的測試主要是指溫度輸出特性測試和壓力輸出特性測試。溫度輸出特性測試主要是指壓力傳感器在不同的溫度條件下對傳感器輸出的影響，主要是指零點(diǎn)溫漂和靈敏度溫漂；壓力輸出特性是指壓力在傳感器的同一環(huán)境條件下對不同壓力所反映的輸出特性，它主要是測量傳感器的靜態(tài)特性指標(biāo)。
壓力傳感器測量系統(tǒng)主要同由壓力源、被測試壓力傳感器、測量電路和顯示記錄四部分組成，它們的關(guān)系如圖4所示。
待測的壓力傳感器在一定的環(huán)境條件（高低溫環(huán)境試驗(yàn)箱提供）下，并由電源供電后，對壓力源（活塞式壓力計(jì)或數(shù)字壓力控制器）產(chǎn)生的信號進(jìn)行測量，測量后產(chǎn)生的信號通過測量電路（多通道數(shù)據(jù)采集器）最終傳輸?shù)斤@示設(shè)備（計(jì)算機(jī)）進(jìn)行顯示和記錄。
4 壓力傳感器測試設(shè)備在測試過程中影響可靠性的因素
壓力傳感器測試過程的可靠性指標(biāo)是隨著設(shè)計(jì)的修改、使用條件的不同，以及工作過程中的性能退化而不斷變化的。因此必須從多方面進(jìn)行考慮。
4.1 規(guī)定使用的條件
任何產(chǎn)品研制的時(shí)候都是根據(jù)規(guī)定的使用條件進(jìn)行的。這個(gè)使用條件包括工作條件（如功能模式、操作方式、負(fù)載條件、工作能源、維護(hù)條件等）和環(huán)境條件（如溫度、濕度、氣壓、振動(dòng)等）。同一種產(chǎn)品在不同的工作條件和環(huán)境條件下其可靠性是不同的。對壓力傳感器進(jìn)行測試的設(shè)備也不例外。
影響測試過程可靠性產(chǎn)生影響的環(huán)境條件一般包括下列幾個(gè)：氣候環(huán)境條件、機(jī)械環(huán)境條件、生物條件、化學(xué)條件、電與電磁條件、輻射條件、系統(tǒng)連接條件和人的因素等。這里主要考慮氣候環(huán)境條件、化學(xué)條件和系統(tǒng)連接條件。其中氣候環(huán)境條件包含的因素有溫度、濕度、氣壓、風(fēng)、雨、霜凍和沙塵等。化學(xué)條件包含的因素有電源的不穩(wěn)定性、傳導(dǎo)線系統(tǒng)的干擾信號、來自電磁場的干擾及雷電、電暈和放電等。系統(tǒng)連接條件包含的因素有大系統(tǒng)內(nèi)各功能單元之間的連接，一個(gè)系統(tǒng)或一臺設(shè)備與別的設(shè)備連接在一起使用。以上3個(gè)方面的因素對設(shè)備可靠性都有影響，但是各種因素對不同的設(shè)備影響的程度是不一樣的。
4.2 使用的時(shí)間
傳感器測試設(shè)備的可靠性是時(shí)間的函數(shù)，隨著時(shí)間的推移而不斷降低，即使元器件經(jīng)過篩選和整機(jī)經(jīng)過老煉及維修，設(shè)備在偶然失效區(qū)工作的情況下，這一段時(shí)間內(nèi)的失效率是一個(gè)常數(shù)。但是，設(shè)備隨時(shí)間的分布規(guī)律卻符合圖5所示的規(guī)律，即：使用的時(shí)間越長，測試設(shè)備的可靠性就越低。
4.3 所能達(dá)到的功能
所謂“功能”就是產(chǎn)品的主要性能指標(biāo)和技術(shù)要求。這是產(chǎn)品完成規(guī)定任務(wù)和作用的保證。所謂產(chǎn)品不可靠，就足性針對產(chǎn)品是否滿足規(guī)定的性能指標(biāo)和技術(shù)要求而言的。產(chǎn)品的性能指標(biāo)和技術(shù)要求越高，允許變化的范圍越小，產(chǎn)品要完成“規(guī)定功能”的可能性就越小，那么產(chǎn)品的可靠性水平就越低。反之，產(chǎn)品的性能指標(biāo)和技術(shù)要求越低，允許變化的范圍越寬，產(chǎn)品能夠完成“規(guī)定功能”的可能性就越大，那么產(chǎn)品的可靠性水平就越高。對傳感器的測試設(shè)備而言，其對傳感器的測試精度要求越高，其可靠性水平相對就越低，但能過該測試設(shè)備測得的傳感器的數(shù)據(jù)就越真實(shí)。反之，如果對壓力傳感器的測試精度要求越低，那么該設(shè)備的可靠性水平就越高，但其對獲得傳感器的真實(shí)數(shù)據(jù)的影響就越大。
還應(yīng)特別指出的是，從測試設(shè)備使用的角度來看，在基本性能指標(biāo)滿足使用要求的前提下，設(shè)備最重要的指標(biāo)是可靠性指標(biāo)。如果設(shè)備不可靠，性能不穩(wěn)定，經(jīng)常壞，測試設(shè)備的最初性能再好也是沒有實(shí)際意義的，更不用說得到傳感器的真實(shí)數(shù)據(jù)了。
4.4 可靠性分析
假定在一定置信度值下，壓力源的可靠度為R1（t），環(huán)境提供設(shè)備的可靠度的為R2（t），測量電路的可靠度為R3（t），供電系統(tǒng)的可靠度為R4（t），那么獲得傳感器真實(shí)數(shù)據(jù)的可靠度R（t）必然和R1（t），R2（t），R3（t），R4（t）有關(guān)，即
R（t）=f[R1（t），R2（t），R3（t），R4（t）] （7）
由式（7）和圖4的測量系統(tǒng)可知
R（t）=K?R1（t）？R2（t）？R3（t）？R4（t） （8）
式中K為一系數(shù)，和各種設(shè)備的使用時(shí)間、使用條件密切相關(guān)。
現(xiàn)以使用我單位的傳感器測試沒備對壓力傳感器的測試為例：在其他測試條件相同的情況下，使用兩臺不同的環(huán)境設(shè)備分別對10臺未補(bǔ)償?shù)膲毫鞲衅鬟M(jìn)行零點(diǎn)溫度測試。兩臺烘箱的參數(shù)指標(biāo)見表1，傳感器的測試數(shù)據(jù)見表2。
由表2數(shù)據(jù)表明，在其他條件完全相同的情況下，使用不同的溫箱，所得到的測試結(jié)果是不相同的，而對我們來說最重要是要確定哪組數(shù)據(jù)更可靠，是更接近傳感器器性能的真實(shí)數(shù)據(jù)。由表1可知1#調(diào)溫箱工作近兩年，2#凋溫箱工作已經(jīng)超過十年，根據(jù)設(shè)備的可靠性隨時(shí)間的分布規(guī)律，1號設(shè)備的可靠性要高于2#設(shè)備的可靠性。所以用1#設(shè)備測得的傳感器數(shù)據(jù)更加可信。
4.5 增加測試過程可靠性的措施
①加強(qiáng)對壓力傳感器測試設(shè)備的管理，定期檢修和維護(hù)，在性能滿足條件的基礎(chǔ)上，提高設(shè)備的使用壽命。
②嚴(yán)格控制測試場所的溫度、濕度、潔凈度等環(huán)境條件；縮短各道工序間的周轉(zhuǎn)時(shí)間，提高傳感器的測試效率。
③定期對各種檢定設(shè)備進(jìn)行檢測和標(biāo)定，保證測試設(shè)備性能滿足對傳感器測試的要求，進(jìn)而保證所獲得的測試數(shù)據(jù)的可靠性。
④堅(jiān)持對傳感器的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行匯總、計(jì)算和分析，找出測試過程中影響傳感輸出的因素，并加以解決，為提高傳感器產(chǎn)品的質(zhì)量打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
5 結(jié) 語
本文在壓力傳感器可靠性的基礎(chǔ)上，提出了壓力傳感器測試過程可靠性的概念，并對測試過程中影響壓力傳感器輸出的各項(xiàng)因素進(jìn)行了闡述，提出了增加傳感器測試過程可靠性的措施，并為深入研究壓力傳感器提供一條新的思路。
